真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中,水环式真空泵,其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,真空泵厂家,故都需要把泵组合起来使用。
真空泵的分类有几种?
按照原理分类:
气体输送泵:顾名思义,气体输送泵就是将一个密闭空间内的气体输送至外部或其他容器内的机器,从而使封闭空间内气压降低,获得真空,例如水环泵、无油柱塞泵、旋片油封泵等。
气体捕集泵:是一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面的真空泵,一般采用化学或物理化学的方法将气体体积减小,从而获得真空。
按照真空度分类:
粗真空度:工业及实验室使用的水环式真空泵就是此类粗真空度泵,一般真空度为10E5~10E-1 Pa;
高真空度:常用的油封泵为这类级别,一般真空度为10E-1~10E-6 Pa;
超高真空度:气体捕集泵一般为这种类型,真空度能够达到10E-6~10E-9 Pa。
真空泵充水法:对于进水管直径大于300mm的大、中型泵站,或自动化要求程度较高的泵站,真空抽气装置是常用的一种充水设备。它由真空泵和其他设备组装而成,排灌站经常采用的真空泵大多为水环式真空泵。水环式真空泵的圆柱形泵壳内安装一个偏心的牙状叶轮。泵壳内注有循环水,在抽真空时,真空泵价格,叶轮旋转,在离心力的作用下,南京真空泵,泵壳内的循环水被甩至叶轮四周,在泵壳内壁形成一个旋转水环。又因叶轮是偏心安装在泵壳内的,因此水环与牙状叶片之间形成的空间大小不同。
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