保养
1、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。
2、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。
3、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，建邺真空泵，再投入正常工作。
4、开动电机，水环式真空泵，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
5、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在点运转，才能获得节能效果。
真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，真空泵安装，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
如何维护好真空泵？
1、更换排气过滤器
如果泵温明显升高、电动机，电流达到或超过额定电流，泵排气口有油烟产生，则应检查排气过滤器是否堵塞，如堵塞，应及时更换。可在泵加油孔处安装排气压力表，检查过滤器是否堵塞。当压力超过0.6bar(表压力)时可更换排气过滤器。
2、更换真空泵油及油过滤器
使用前，检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。同时，必须检验电动机皮带轮的旋转方向。观察者正对皮带轮，皮带轮应按顺时针方向旋转，若反方向旋转时，可把相电源中任意二相接头对换一下即可。否则，旋片真空泵不起抽气作用反而会把真空泵油和大气打入被抽系统，造成严重污染。如果油受污染而发黑、乳化或变稠应及时换油。换油同时，应更换油过滤器。并在加入新油之前请清洗泵。
清洗、换油步骤：停泵将热油放掉;旋上放油塞，真空泵价格，运转5-10秒，将油放尽;注入清用油(32号普通机械油)到油窗高度的3/4处;运转真空泵5-10分钟;停泵，将油放掉。如放掉的油还是比较浑浊，达不到要求，重复3、4步骤，直到放出的油呈透明状;旋上放油塞运转5-10秒;将油放尽;注入规定的新油即可。
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