真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点，维修真空泵，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，句容真空泵，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空泵选用的方法：
1、工艺要求达到的真空度
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。
2、工艺要求的抽气量(抽气速率)
真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，真空泵厂家，L/S，m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。
真空泵使用注意事项是什么?
A、开真空泵前先检查泵内油的液面是否在油孔的标线处。油过多，在运转时会随气体由排气孔向外飞溅;油不足，泵体不能完全浸没，达不到密封和润滑作用，对真空泵泵体有损坏。
B、真空泵由电动机带动，使用时应使电源电压与电动机要求的电压相符。对于三相电动机，送电前要先取下皮带，检查电动机转动方向是否相符，勿使电动机倒转，造成泵油喷出。检查完后，再连上皮带。
C、真空泵不可直接抽可凝性蒸气。
D、真空泵运转时要注意电动机的温度，不可超过规定温度。不应有摩擦和金属撞击声。如有异常，真空泵型号，应停机请人检修。
E、停泵前，应使泵的进气口先通入大气后再切断电源，以防泵油返压进入抽气系统。为此，在进气口处接一个三通活塞，停机前使三通活塞处于既保持系统处于真空，又使泵体通大气的位置。
F、真空泵应定期清洗进气口处的细纱网，以免固体小颗粒落入泵内，损坏泵体。凌格风空压机提示：真空泵使用半年或一年后，必须换油。
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